Effektiv PVD Magnetron Sputtering Continuous Coating Line är ett mycket specialiserat tillverkningssystem, som huvudsakligen används för att avsätta ett eller flera lager av extremt tunna funktionella filmer på ytan av substrat (som glas, plast, metall, keramik, halvledarskiva, etc.).
Dess kärna är att förånga eller jonisera beläggningsmaterialet genom olika fysikaliska metoder i en högvakuummiljö och sedan kondensera det till en film på ytan av substratet.
Applikationer:
Vakuumbeläggning av koppar, silver och andra ledande material på ytan av elektrisk komponentkeramik och kretskortkeramik.
Den är också lämplig för vakuumavsättning av olika metallfilmskikt på ytan av andra plattor-som arbetsstycken (glas, akrylskiva, etc.);
Huvuddrag:
Magnetfält begränsar plasma
Detta är kärnan i magnetronförstoftning. Genom att applicera ett starkt magnetfält av en specifik form (vanligtvis en ring- eller racerbanaform) nära målytan, begränsas elektronerna nära målytan för att göra spiralrörelser, vilket avsevärt ökar sannolikheten för kollision och jonisering av elektroner med arbetsgasatomer (vanligtvis argon).
Hög joniseringshastighet och hög avsättningshastighet
Magnetfältsinneslutning ökar avsevärt plasmadensiteten och joniseringshastigheten, vilket gör förstoftningsprocessen mer effektiv.
Detta innebär att vid relativt lågt gastryck och låg förstoftningsspänning/effekt kan mycket högre förstoftnings- och avsättningshastigheter uppnås än konventionell DC-förstoftning.
Process med låg temperatur
Eftersom det mesta av energin används för att jonisera gasen och sputtermålatomerna överförs relativt lite värme till substratet.
Bra filmkvalitet
Bra densitet, stark vidhäftning, hög renhet och god enhetlighet.
Brett utbud av materialanpassning
God processkontroll
Produktionslinjen för magnetronförstoftningsbeläggning har blivit en av de vanligaste teknikerna för att framställa funktionella tunna filmer (såsom optiska filmer, ledande filmer, slitstarka hårda filmer, dekorativa filmer, anti-korrosionsfilmer, magnetiska filmer, halvledarfilmer etc.) i modern industri på grund av dess kärnprocesser och fördelar som hög temperatur, stark filmkvalitet (låg temperatur, stark filmkvalitet, utmärkta fördelar). vidhäftning), bred materialanpassning, god enhetlighet och kontrollerbarhet. Den har extremt breda tillämpningar inom mikroelektronik, platta bildskärmar, solceller, verktygsbeläggningar, bildelar, förpackningar, dekoration, optiska enheter och andra områden.
Populära Taggar: effektiv pvd magnetron sputtering kontinuerlig beläggningslinje, Kina effektiv pvd magnetron sputtering kontinuerlig beläggningslinje tillverkare, leverantörer, fabrik
