Den optiska vakuumbeläggningsmaskinen består av ett vakuumsystem, ett förångningssystem, ett kylsystem och ett elektriskt system. Vakuumsystemet består av en vakuumtank och ett avgassystem. Vakuumtanken är huvuddelen av beläggningsmaskinen, och beläggningsprocessen är klar i vakuumtanken. Vakuumtanken och avgassystemet är sammankopplade med en anslutningsventil. För att förhindra påverkan av luftmolekyler på de förstoftade jonerna och förbättra kvaliteten på filmskiktet måste de optiska komponenterna och jonkällan placeras i en vakuummiljö under drift.
Avgassystemet består huvudsakligen av en mekanisk pump, en Roots-pump och en vakuumpump, som ansvarar för att tömma ut gasen i vakuumtanken och bilda en vakuummiljö i tanken. Indunstningssystemet hänvisar huvudsakligen till den filmbildande anordningen. Det finns många typer av filmbildande enheter i beläggningsmaskinen, såsom motståndsuppvärmning, elektronkanonförångning, magnetronförstoftning, radiofrekvensförstoftning, jonplätering, etc.
Optiska vakuumbeläggningsmaskiner applicerar tunna filmer på optiska komponenter genom vakuumförstoftning, vilket modifierar reflektionsförmågan och transmittansen av infallande ljus. För att minimera reflektionsförluster på komponentytan och förbättra bildkvaliteten appliceras ofta flera lager av tunna filmer. Efter beläggning av en optisk komponent reflekteras och sänds ljus flera gånger på ytan av flerskiktsfilmen och bildar flera strålar av interferens. Genom att kontrollera filmskiktens tjocklek och brytningsindex kan varierande intensitetsfördelningar uppnås. Denna princip kan användas för att tillverka polariserande reflekterande filmer, färgdelande filmer, kallljusfilmer och interferensfilter för att möta mer komplexa behov.
