Många kunder är förvirrade när de handlarvakuumbeläggningsmaskiner. De vet vilken typ och modell av beläggningsmaskin de behöver, men de kan inte avgöra vilka standarder maskinen måste uppfylla för att anses vara av god kvalitet och hög-kvalitet. Denna förvirring leder till att de tar många omvägar. Nedan kommer Puyuan Vacuum att ge en detaljerad introduktion till de grundläggande tekniska kraven som en vakuumbeläggningsmaskin måste uppfylla.
Vakuumavdunstning, katodjonisering, magnetronförstoftning:
1.Strukturen hos vakuumrörledningar och statiska tätningskomponenter i utrustningen bör överensstämma med GB/T6070.
2.Vakuummätare bör installeras på rörledningarna för lågt-vakuum och högt-vakuum och på vakuumbeläggningskammaren för att mäta vakuumnivån på varje plats. Om störningar från det elektriska fältet upptäcks, bör en elektrisk fältskyddsanordning installeras vid mätporten.
3.Om huvudpumpen som används i PVD-beläggningsutrustningen är en diffusionspump, bör en oljeångfälla installeras på pumpens inloppssida.
4. Beläggningskammaren i vakuumbeläggningsutrustningen bör vara utrustad med ett observationsfönster och en baffelanordning. Observationsfönstret bör tillåta observation av deponeringskällans och andra kritiska komponenters arbetsstatus.
5. Utformningen av jonpläteringsavsättningskällan bör maximera joniseringshastigheten under beläggningsprocessen, förbättra utnyttjandegraden av beläggningsmaterialet, rationellt matcha avsättningskällans kraft och rationellt arrangera läget för avsättningskällan i vakuumkammaren.
6.Värmeanordningen bör vara rationellt anordnad; i allmänhet bör uppvärmningsstrukturens layout säkerställa en jämn temperaturhöjning för arbetsstycket som pläteras.
7. Arbetsstyckeshållaren bör isoleras från vakuumkammaren, och utformningen av arbetsstyckeshållaren bör säkerställa att arbetsstyckets filmskikt är enhetligt.
8. Jonvakuumbeläggningsmaskiner bör i allmänhet ha en negativ förspänning för arbetsstycket och en jonbombardemang. Strömförsörjningen för jonbombning bör ha en anordning för att undertrycka onormal urladdning och bibehålla stabil drift.
9.Isolationsresistansvärdena mellan olika delar av vakuumkammaren anslutna till olika potentialer ska överensstämma med 4.4.6 i GB/T11164-1999.
10. Andra försiktighetsåtgärder
(1) Omgivningstemperatur: 10-30 grader
(2) Relativ luftfuktighet: inte större än 75 %
(3) Kylvatteninloppstemperatur: inte högre än 25 grader
(4) Kylvattenkvalitet: kommunalt kranvatten eller vatten av motsvarande kvalitet.
(5) Strömförsörjning: 380V tre-fas 50Hz eller 220V enfas-50Hz (beroende på vilka elektriska apparater som används); spänningsvariationsområde: 342-399V eller 198-231V; frekvensfluktuationsområde: 49-51Hz.
(6) Trycket, temperaturen och förbrukningen av tryckluft, flytande kväve, kallvatten, varmvatten etc. som krävs av utrustningen bör specificeras i produktens bruksanvisning.
(7) Utrustningens omgivande miljö bör vara ren och luften bör vara fri från damm eller gaser som kan orsaka korrosion av elektriska komponenter eller andra metalldelar, eller ledning mellan metaller.
