Steg för att använda vakuumbeläggningsmaskinen

Jun 01, 2025

Lämna ett meddelande

Drift av det elektriska kontrollskåpet

1. Slå på vattenpumpen och gaskällan.

2. Slå på huvudströmförsörjningen.

3. Slå på strömförsörjningen för underhållspumpen och vakuummätaren och vakuummätarpositionen V1 -position. Vänta tills dess värde är mindre än 10 innan du går in i nästa steg. Det tar cirka 5 minuter.

4. Slå på den mekaniska pumpen, pre-pumpen, slå på den turbomolekylära pumpens strömförsörjning och starta den. Växla vakuummätningsomkopplaren till V2 -position och pumpa tills den är mindre än 2. Det tar cirka 20 minuter.

5. Efter att ha observerat att den turbomolekylära pumpläsningen når 250, stäng av pre-pumpen, slå på den främre pumpen och hög vakuumventil för att fortsätta dammsuga. När vakuumet har nått en viss nivå kan den höga vakuummätaren till höger slås på för att observera vakuumgraden. Elektronpistolen kan endast slås på efter att vakuumet har nått 2 × 10-3.

Def-6b
1. Huvudströmförsörjning.
2. Slå på kraften i elektronpistolkontroll ⅰ och elektronpistolkontroll ⅱ Samtidigt: Tryck på ström- och fördröjningsomkopplaren för elektronpistolkontroll ⅰ, fördröjning, kraft och skyddsljus tänds och fördröjningen och skyddslamporna kommer att gå ut efter tre minuter. Om bakdörren inte är stängd eller vattenflödesreläet är felaktigt kommer skyddsljuset alltid att vara på.
3. Slå på högspänningen, högspänningen kommer att nå mer än 10 kV, justera strålströmmen till cirka 200 mA, gardingrätan är 20V/100MA, filamentströmmen är 1,2A och avböjningsströmmen svänger mellan 1 och 1,7.
Avstängningssekvens
1. Stäng av den höga vakuummätaren och molekylpumpen.
2. När molekylpumpen visas 50, stäng av den höga ventilen, det främre steget och den mekaniska pumpen i sin tur. Denna period tar cirka 40 minuter.
3. När den är under 50, stäng av underhållspumpen.

1

Skicka förfrågan
Kontakta ossOm det har någon fråga

Du kan antingen kontakta oss via telefon, e -post eller online -formulär nedan. Vår specialist kommer att kontakta dig inom kort.

Kontakta nu!